氦气是芯片制造不可或缺的核心介质，其供给波动会直接、隐性地冲击各环节，拉低芯片良率，影响产业产能稳定。...
氦气凭借高热导、化学惰性等特性，在半导体退火中提升温度控制精度与良率，助力先进制程，其稳定供应与回收对行业发展至关重要。...
氦气纯度不足会通过杂质导致光刻图案畸变、缺陷漏检、芯片漏电等，降低晶圆良率，行业需严格控制纯度并发展回收技术。...
