EUV光刻技术要求氦气纯度达6N级以上，影响光刻精度、设备维护成本及良率，行业正推进回收利用和更高纯度技术以应对3nm以下制程需求。...
液氦液化回收设备选型需综合评估液化能力、制冷技术、安全设计、维护成本等，兼顾实验需求、运营成本与合规要求，以实现高效利用。...
