国内半导体封装氦检精度实现关键突破,可覆盖7nm及以下先进封装检测需求,降低设备采购成本约37%,氦气回收率提至89%以上,对冲先进封装产能爬坡的氦气需求增量,将推动工业气体行业转向适配半导体封测的技...