氦气在气相沉积中具化学惰性保障纯度、高热导优化温度场、低密度提升传输效率及良好工艺兼容性与安全性，是核心载气。...
氦气在化学气相沉积中作载气防杂质，具高热导控温、低密度稳气流、助等离子体生成及稀释防爆等关键作用。...
