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梯度替代
氩气在刻蚀过程中能否完全取代氦气？
半导体刻蚀中，氩气在成熟制程可替代氦气降成本，但7纳米以下先进制程因氦气独特物理特性仍不可替代，未来或呈梯度替代、互补共存模式。...
2026-06-06
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