超导材料研发依赖高纯度氦气（通常需99.999%以上），杂质会影响其性能，需全链条质量控制，且与可持续发展及技术创新紧密相关。...
氦气纯度不足会通过杂质导致光刻图案畸变、缺陷漏检、芯片漏电等，降低晶圆良率，行业需严格控制纯度并发展回收技术。...
