氦气因化学稳定、扩散系数高，经密封设计控制泄漏，能维持战略导弹井气压与纯度，降低设备故障，保障武器系统长期可靠，短期无可替代。...
氦气在化学气相沉积中作载气防杂质，具高热导控温、低密度稳气流、助等离子体生成及稀释防爆等关键作用。...
