精密镀膜/半导体沉积中，氦压需控在适配区间，其波动会致膜厚异常，还存在滞后影响，需精准调控。...
氦气通过稳定等离子体温度、调节电离程度、优化热交换与气流场分布，提升刻蚀均匀性，纯度和同位素组成对先进制程结果起决定性作用。...
