半导体刻蚀中，氩气在成熟制程可替代氦气降成本，但7纳米以下先进制程因氦气独特物理特性仍不可替代，未来或呈梯度替代、互补共存模式。...
科研院所自建氦气液化站，技术成熟且经济可行，政策支持，成功案例多，但需考虑核心部件国产化、原料供应及安全维护等问题。...
晶圆厂自建氦气液化回收系统技术成熟，可降低成本40%-60%、减碳，投资回收期4-6年，但面临纯度控制、初期投入及维护挑战。...
