国内晶圆厂产能扩张下氦气供应稳价保供需求迫切，成熟模块化氦气回收装置可将晶圆厂氦气自给率提至70%以上，降本超六成、减碳效果显著，2024年国内超85%新建12英寸晶圆厂已同步配套，赛道进入规模化普及...
