当前氦气供应紧俏、成本高企，半导体厂配套定制化氦气回收提纯系统，可将氦气循环利用率提至75%-85%，单条12英寸产线年降本超千万元，投资回报周期短，还能降低供应依赖、规避停产风险，已成为国内晶圆厂核...
