半导体刻蚀中，氩气在成熟制程可替代氦气降成本，但7纳米以下先进制程因氦气独特物理特性仍不可替代，未来或呈梯度替代、互补共存模式。...
氦气在半导体刻蚀中不可或缺，通过高效导热保障晶圆温度均匀，作等离子体稀释剂精确控深，还能保护设备、辅助先进封装，战略价值显著。...
