氦气因高热传导效率、极低沸点、化学惰性及低膨胀系数等特性，成为半导体制造中关键的冷却介质，能满足高精度温控需求。...
氦气用于晶圆冷却优势显著：热传导效率高，化学惰性保障晶圆质量，低密度易在狭小空间流动，低沸点适应极端低温，提升良率与性能。...
