氦气在溅射工艺中与氩气混合使用，可调节等离子体密度、均匀溅射动能以降低薄膜粗糙度，还能高效冷却靶材、避免杂质，是提升薄膜质量的关键辅助气体。...
氦气在化学气相沉积中作载气防杂质，具高热导控温、低密度稳气流、助等离子体生成及稀释防爆等关键作用。...
氦气凭借独特物理化学性质，在半导体制造中用于硅片制备、光刻、蚀刻、薄膜沉积和封装测试等环节，保障制程精度与产品良率。...
